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普乐斯真空式等离子清洗设备腔体为何常多用铝合金?

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2020-01-07 11:09【
文章导读:随着各行业对等离子表面处理的要求逐渐提高,对等离子清洗设备真空腔体材质的要求也更高了,比如说处理晶圆、航天连接器等,对工艺与处理环境的要求就很高,这也是普乐斯选用铝质腔体作为真空腔体的重要原因,那么铝质腔体究竟有何好处呢?
如果留心观察,大家其实能够发现,真空式等离子清洗设备的真空反应腔体一般较为常见的有石英玻璃材质、不锈钢材质、铝合金材质,针对不同行业和材料处理需求,真空腔体可根据实际需要进行配置和选择,而普乐斯常会采用铝合金材质的腔体,这是出于什么原因呢?
真空式等离子清洗设备腔体选择-普乐斯等离子清洗机
随着各行业对等离子表面处理的要求逐渐提高,对等离子清洗设备真空腔体材质的要求也更高了,比如说处理晶圆、航天连接器等,对工艺与处理环境的要求就很高,这也是普乐斯选用铝质腔体作为真空腔体的重要原因,那么铝质腔体究竟有何好处呢?
 
一、铝质腔体的物理属性好
铝合金的密度低,强度高,好于优质钢,自身的机械加工性能比较好,而且在导电性、导热性和抗腐蚀性上表现也较为突出亮眼。
普乐斯真空式等离子清洗设备腔体为何常多用铝合金?-普乐斯等离子清洗机
二、良好的化学属性
铝合金本身对化学反应的兼容性比较好,不易形成金属污染、particle等。此外在表面处理方面也是较为丰富的,包括电泳、喷涂、阳极氧化等。
 
三、趋肤深度好
铝的趋肤深度性能是不锈钢的10倍以上,铝质腔体能够使电流分布得更加均匀,腔体也不容易发热。

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