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等离子表面处理设备的电极板不对称可以实现等离子刻蚀吗?

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2020-10-13 09:31【
文章导读:实现材料和产品表面的等离子刻蚀,是等离子表面处理设备可实现的其中一项作用,可以通过对电极的结构、面积、馈入方式调整,来满足具体的刻蚀要求,在等离子表面处理设备的电极板不对称的情况下,该如何实现等离子刻蚀?往下看。
       实现材料和产品表面的等离子刻蚀,是等离子表面处理设备可实现的其中一项作用,可以通过对电极的结构、面积、馈入方式调整,来满足具体的刻蚀要求,在等离子表面处理设备的电极板不对称的情况下,该如何实现等离子刻蚀?
普乐斯等离子表面处理设备
       等离子表面处理设备进行刻蚀处理,在半导体行业内较为多见,通入的气体一般为特殊的工艺气体,可产生具有腐蚀性的等离子体基团,从而与硅晶圆或其他相关产品未经掩膜遮挡的表面进行反应,将所需要的线路刻蚀出来,在这个过程中就需要注意控制离子能量的电极压降的定标。下图为等离子表面处理设备阴极和阳极电极板面积不对称时的放电示意图。
普乐斯等离子表面处理设备阴极和阳极电极板面积不对称时的放电示意图
       其电极的压降和表面积之间的关系为VA/VB=(SB/SA)α,而指数α在假定的理想状态的范围基本为1.0至2.5之间,因此这一数值可以作为参考,但作为依据还是有所欠缺,而在圆形电容耦合高频放电过程中,指数α也可视为在上述范围之内。下图为等离子表面处理设备的圆柱形容性RF放电电极板电压的示意图。
普乐斯等离子表面处理设备的圆柱形容性RF放电电极板电压的示意图
       用以工业应用的圆柱形容性耦合射频等离子表面处理设备,其反应腔体往往采用的是圆柱形的石英玻璃,通过在玻璃外包裹一层铜质电极,可以用来处理对均匀性要求不是很高的产品,比如小尺寸的晶圆。圆柱形容性耦合射频等离子表面处理设备的放电状态如下图所示。
普乐斯圆柱形容性耦合射频等离子表面处理设备的放电状态
       普乐斯从2011年开始涉足半导体行业至今已有9年,专注研制等离子清洗机,等离子体清洗机,等离子清洗设备,常压大气和低压真空型低温等离子表面处理机,在光刻胶去除、打线即W/B前清洗和塑封即Molding前活化等工艺方面积累了较为丰富的等离子表面处理经验,合作客户接近20家,我们正努力成为半导体封装领域的等离子表面处理工艺解决方案服务商。是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。等离子表面处理过的样品包括:硅晶圆、玻璃基板、陶瓷基板、IC载板、铜引线框架等。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问,欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009,普乐斯恭候您的来电! 

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