等离子刻蚀_普乐斯电子

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0924-01

感应耦合等离子刻蚀技术的优势和特点 感应耦合等离子刻蚀技术是一种利用高能离子束对材料进行刻蚀的技术。其基本原理是利用磁场和射频电场产生等离子体，将等离子体束聚焦到要刻蚀的材料表面，从而实现对材料的刻蚀。...
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0923-06

等离子刻蚀技术是什么 等离子刻蚀技术是一种在微电子制造中广泛应用的技术，它可以通过利用等离子体的化学反应、物理反应和辐射效应，实现对硅片、玻璃、金属等材料进行加工。等离子刻蚀机是实现等离子刻蚀技术的核心设备之一，它可以提供高精度、高效率的加工能力，从而帮助制造商提高产品质量和生产效率。...
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1320-10

等离子表面处理设备的电极板不对称可以实现等离子刻蚀吗？ 实现材料和产品表面的等离子刻蚀，是等离子表面处理设备可实现的其中一项作用，可以通过对电极的结构、面积、馈入方式调整，来满足具体的刻蚀要求，在等离子表面处理设备的电极板不对称的情况下，该如何实现等离子刻蚀？往下看。...
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1819-09

等离子刻蚀中影响氮化硅侧壁蚀刻倾斜度的参数有哪些？ 等离子表面处理系统能够完成表面清洗、活化、刻蚀以及涂镀等诸多功能，依据所需处理的材料与处理的目的，等离子表面处理系统能够完成不同的处理效果。等离子表面处理设备在半导体方向的使用有等离子刻蚀、显影、去胶、封装等。等离子刻蚀工艺在半导体集成电路中，既能够刻蚀上表层的光刻胶，也能够刻蚀基层的氮化硅层，不仅如此还需要防止其对硅衬底造成刻蚀损...