DBD介质阻挡等离子清洗机有哪些结构?如何选择?
文章导读:DBD介质阻挡等离子清洗机通常是在大气环境中进行等离子体放电,因而会与真空等离子处理设备的放电有所不同,接下来就与大家介绍一下DBD介质阻挡等离子清洗机放电相关内容。
DBD介质阻挡等离子清洗机通常会在金属电极之间加入绝缘介质材料,形成一种非平衡态的气体放电。一般来说DBD等离清洗机的电极会选择两个平行电极,并且其中至少一个电极会覆盖一层介质材料,并通过对电极间距的把控,实现大气压等离子体放电的稳定性。
根据放电气体、激发电压以及频率的不同,DBD介质阻挡等离子清洗机就能够在两电极之间产生丝状或辉光等离子体。常见的DBD介质阻挡等离子清洗机的电极结构主要有几种,主要可分为基础电极结构、圆柱电极结构、沿面电极结构三种,我们先来看一下基础电极结构,下图是基础电极结构中较为传统和简单的。常被用作材料表面改性和臭氧发生器,金属电极可提高放电产生热量的传递速度。
另一种DBD等离子处理设备的电极结构大致如下图所示,等离子体放电在两介质层之间进行,等离子体能够避免与金属电极直接接触。而且这种双介质层与单介质层放电结构相比,等离子体更均匀,放电丝更细,适用于离化腐蚀性气体和产生高纯等离子体。
另外还有一种如下图,它主要用于在同一等离子体发生系统内产生不同的等离子体。
当DBD等离子清洗机采用圆柱结构,一般主要用来产生低温等离子体炬,以完成对不规则的材料表面进行改性,下图为常见的3种圆柱电极结构。
沿面电极结构在实际应用中,主要用以产生面等离子体,在航空器件的等离子体隐身等方面较为常见。
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