真空等离子清洗机常用泵的真空度和适用范围的介绍！
文章导读：真空泵是真空等离子清洗机必备的组件之一。没有真空泵等离子清洗机腔体真空度无法达到处理要求。真空泵种类繁多，可能很多使用者不是特别清楚，对于真空泵的选型是设计工作需要解决的问题。了解了常用真空泵的真空度和适用范围，可以有助于等离子清洗机进行真空泵的选型。
真空泵是真空等离子清洗机必备的组件之一。没有真空泵等离子清洗机腔体真空度无法达到处理要求。真空泵种类繁多，可能很多使用者不是特别清楚，对于真空泵的选型是设计工作需要解决的问题。了解了常用真空泵的真空度和适用范围，可以有助于等离子清洗机进行真空泵的选型。
1.液环泵是一种粗真空泵。液环泵中气体压缩是等温的，所以可用于抽除易燃易爆的气体，此外还可用于抽除含尘、含水的气体。受工作液饱和蒸气压的限制，真空度低。用水做工作液，极限真空 2000 ～ 4000Pa ；用油作工作液，极限真空约130Pa。
2.旋片泵是一种油封式机械真空泵。它可直接从大气压起动抽气 ；可单独做低真空泵用，也可与其他高真空泵组合作为前级泵用；体积小、重量轻、噪音低，特别适合实验室使用；该泵不可用来抽含氧过高的、有毒的易爆的或与泵油发生化学作用的或对黑色金属有腐蚀作用的气体。极限真空 ≤1.3Pa。
3.滑阀泵是一种油封式机械真空泵。常用在大型真空设备上，具有高真空、低噪音、少震动，寿命长，不易漏油的特点，可用于抽有较高温度、有轻微粉尘和腐蚀性的气体，特别是含少量水蒸气的混合气体。分为单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵 ≤0.6Pa，对大泵 ≤1.3Pa（均关气镇），双级泵的极限压力 ≤0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s 的滑阀泵多采用单级型式。
4.罗茨泵是一种变容真空泵。特点是启动快，耗功少，运转维护费用低，抽速大、效率高，对被抽气体中含少量水蒸气和灰尘不敏感，在100 ～ 1Pa 压力范围内有较大抽气速率，能迅速排除突然放出的气体，不需要油润滑 ；转速可高达3450 ～ 4100r/min；抽气速率为30～ 10000L/s。极限真空：单级泵为6.5×102Pa，双级泵为1×103Pa。
5.扩散泵是一种动量传输泵。特点是可获得高真空，用于真空冶炼镀膜、空间模拟实验和对油污染不敏感的真空系统。极限真空为10-4～ 10-5Pa。
6.往复泵是一种变容真空泵，有干式和湿式之分。抽气量范围大，可达15 ～ 5 500L/s，抽气效率不高。不适用抽除腐蚀性或含微小颗粒的气体，如果被抽气体中含颗粒，进口处必装过滤器。单级泵极限真空约为400 ～ 103Pa，双级泵极限真空约为1Pa。
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