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等离子清洗机是如何达到清洗的效果

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2019-09-29 11:19【
文章导读:等离子清洗机在现在的工业生产中起到很重要的作用,现在等离子清洗机在很多企业中都是不可缺少的清洗设备。等离子清洗不需要添加任何溶剂,且无有害物质产生,也通常被叫做环保型的干式清洗,那么等离子清洗机是如何达到清洗的效果呢?
等离子清洗机原理:通过化学或物理作用对工件表面进行处理,实现分子水平的污染物去除(一般厚度为几个~几十个nm)。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物,应采用不同的清洗工艺。按照清洗原理可以分为:物理清洗和化学清洗。
等离子清洗机原理-普乐斯等离子表面处理
物理清洗:表面作用以物理反应为主的等离子体清洗,也叫溅射腐蚀(SPE)。我们以Ar来说明等离子清洗机的化学反应。
例:Ar+e- →Ar++2e-     Ar++沾污→挥发性沾污
Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能,然后轰击在放在负电极上的被清洗工件表面,工件表面的污染物被轰击后,游离在腔体内部,然后经过真空泵抽出腔体外部。一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物。
等离子清洗机的物理清洗原理-普乐斯等离子表面处理
化学清洗:表面作用以化学反应为主的等离子体清洗,又称PE。
例1:O2+e- →2O*+e-      O*+有机物→CO2+H2O

从反应式可见,氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2。
例2:H2+e- →2H*+e-      H*+非挥发性金属氧化物→金属+H2O
从反应式可见,氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层,通常用于清洁金属表面,在清洗过程中避免金属氧化。
等离子清洗机化学清洗方式-普乐斯等离子表面处理
在正常的清洗过程中物理清洗与化学清洗时同时存在的,可以根据具体要求选择不同的工艺气体。

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