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等离子清洗机是如何达到清洗的效果 等离子清洗机 原理:通过化学或物理作用对工件表面进行处理,实现分子水平的污染物去除(一般厚度为几个~几十个nm)。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物,应采用不同的清洗工艺。按照清洗原理可以分为:物理清洗和化学清洗。 物理清洗:表面作用以物理反应为主的等离子体清洗,也叫溅射腐蚀(SPE)。我们...
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