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真空等离子处理系统的均匀性和腔体容积和进气方式有何关系？ 随着产品的科技化、精细化工艺要求的发展，某些产品在进行等离子处理中，对真空等离子处理系统的均匀性提出了更高的要求，其实影响真空等离子处理设备的因素众多，如腔体大小、进气方式、电极结构、电源频率、气体流量、功率大小等，任一因素的变化都会对等离子处理的均匀性产生较大的影响，今天普乐斯先向大家介绍一下腔体大小和进气方式对等离子处理均匀性的影...
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