一种半导体电浆机的制作方法
本发明涉及电浆机技术领域，尤其涉及一种半导体电浆机。半导体等离子机也叫等离子刻蚀机。等离子蚀刻是最常见的干蚀刻形式。其原理是暴露在电子区的气体形成等离子体，产生的电离气体和高能电子组成的气体被释放，从而形成等离子体或离子。当电离的气体原子被电场加速时，它们会释放出足够的力来紧紧地附着在材料上或蚀刻表面。目前，半导体电浆机需要在真空环境下进行刻蚀，但现有电浆机密封效果差，导致空气中的氧化气体进入电浆机，导致半导体表面刻蚀不均匀，使用不方便。鉴于此，我们提出一种半导体电浆机。
本发明的目的是提供一种半导体等离子电浆机，以解决上述背景技术中提出的半导体电浆机密封效果差的问题。为了实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种半导体电浆机，包括电浆机体，所述电浆机体的正面设有显示屏，所述显示屏下方设有控制面板，所述电浆机体的上表面设有通孔，所述显示屏一侧的电浆机体的正面设有蚀刻室， 通孔与蚀刻室连通，电浆机体的上表面设有真空泵。 真空泵通过第一螺栓与电浆机体的上表面固定连接；真空泵的输出端设有排气管；排气管的一端通过通孔伸入蚀刻室；滚筒安装在等离子机体下表面的四个角上。排气管与通孔的连接处设有法兰，法兰上设有多个第二螺栓，法兰通过第二螺栓与电浆机体的上表面固定连接。法兰与通孔的连接处设有垫圈。矩形塞的横截面尺寸与矩形槽的尺寸相匹配，矩形塞通过矩形槽与空心密封垫相插配。仓门的正面设有窗户。门靠近显示屏的一侧设有弧形凹槽，电浆机体的正面与气缸紧密焊接，气缸的一端与转轴紧密焊接，转轴上设有限位器，限位器的一端设有圆孔，另一端与限位柱紧密焊接。转轴穿过圆孔，挡块通过转轴与气缸转动连接。限位柱通过弧形槽与仓门滑动连接。弧形槽的中心角度设置为90-120度。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：仓门关闭后，通过转轴转动限位器，使限位器一端的限位柱滑入弧形槽的另一端，限位柱在蚀刻仓的开启位置扣合仓门，使限位柱对仓门起到一定的限位作用，从而实现仓门的关闭；同时，矩形塞通过矩形槽与中空密封垫插入配合，提高仓门与刻蚀仓连接处的密封效果，防止空气中的氧化气体进入刻蚀仓，提高半导体表面的刻蚀均匀性，解决半导体电浆机密封效果差的问题。
普乐斯推荐
行业资讯
- 车企开始自研芯片，汽车芯片未来走向何方，等离子清洗机行业会受到波动吗？
- 汽车内饰件中的设计三原则，等离子清洗机该如何处理？
- 汽车后灯装配工艺，等离子清洗机的全新展现
- 汽车前灯装配工艺介绍，等离子表面处理机在粘接上面应用广泛！
- 如何才能让AI芯片跟上算法的速度？等离子清洗机可以发挥什么样的作用呢？
- 米家首款眼镜相机，等离子清洗机可以在哪些方面起作用？
- 华为发布新一代毫米波交通雷达，超远距高精度，等离子清洗机在这个行业有什么应用呢？
- 汽车内饰氛围灯光学结构设计，等离子清洗机在表面处理方面作用很大
- 芯片行业的冰火两重天，等离子清洗机行业未来会火热吗？
- 半导体行业最激进的变化:2D材料,它的处理等离子清洗机可以提供帮助吗？
苏公网安备 32058302002178号
