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半导体封装行业的在线等离子清洗机,有哪些技术流派?

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2022-07-12 14:42【
文章导读:近些年来,随着半导体封装行业的迅猛发展,用在W/B键合和MD塑封前的等离子清洗,对自动化程度和品质要求越来越高,因而在线等离子清洗机的应用逐渐开始普及。根据我们多年对在线等离子清洗机的了解,今天整理出一些资料来供大家参考。
近些年来,随着半导体封装行业的迅猛发展,用在W/B键合和MD塑封前的等离子清洗,对自动化程度和品质要求越来越高,因而在线等离子清洗机的应用逐渐开始普及。无论主营业务是等离子清洗机的企业,还是原本做自动化的公司,短短几年国内涌现出不少的品牌与国外厂家同台竞技,但客观讲大多数技术来源还是借鉴国外的产品。根据我们多年对在线等离子清洗机的了解,今天整理出一些资料来供大家参考。
在线等离子清洗机
不同品牌的在线等离子清洗机外观设计各有特点,但核心还是在于反应腔体(含电极)和上下料的传动部分,关乎于等离子处理产品的均匀性、安全性、UPH,尤其是电极结构的设计形成不同放电机制,可以说代表不同的技术流派,主要的代表有3种:
1 电极覆盖陶瓷的在线等离子清洗机
这种在线等离子清洗机以韩国V公司为代表,上下料的传动部分为“一进一出”,腔体本身构成电极,地极在上,功率极在下;功率极上面覆盖陶瓷,陶瓷上面有轨道兼托架。
在线等离子清洗机
2 地极和功率极可以任意组合的在线等离子清洗机
这种在线等离子清洗机以日本H公司为代表,上下料的传动部分为“自动抽屉”,上下腔体本身构成电极,载物和轨道由金属板构成,可以根据需要弹出和关闭。
在线等离子清洗机
3 电极交互式的在线等离子清洗机
这种在线等离子清洗机,目前成为国内的主流,以美国M公司为代表,上下料的传动部分为“电极交互”,上部分为腔体,有功率极,下部分为两块可以相互交换的平板,每一块平板都是地极,平板上面有载物轨道。
在线等离子清洗机
其实市面上还会有一些具有代表性的在线等离子清洗机,大家有心就可能看到。
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