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等离子清洗设备产生的等离子体特性有哪些?

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2020-07-07 09:16【
文章导读:等离子清洗设备是能够实现等离子清洗、活化、刻蚀、沉积等目的的一种工艺设备,这与等离子清洗设备所产生的等离子体有着独特的物理特性和化学特性是密不可分的。
等离子清洗设备是能够实现等离子清洗、活化、刻蚀、沉积等目的的一种工艺设备,等离子清洗设备所产生的等离子体有着独特的物理特性和化学特性。本篇与大家介绍等离子清洗设备所产生的等离子体特性。
等离子清洗设备产生的等离子体特性有哪些?-普乐斯 
等离子清洗设备所产生的的等离子体特征主要有以下几点:
1、所产生的等离子体的电子温度高,粒子动能大;
2、具有良好的导电性能。等离子清洗设备产生的等离子体可以看做为带电粒子的聚集态;
3、等离子体的化学性质较为活泼,容易发生化学反应,应用广阔,有机物的去除就是其中一种应用方向;
4、具有发光特性,根据通入气体不同,会呈现不一样的颜色。
等离子体之所以具有以上特性,是因为其内部电子和气体分子间的碰撞。我们可以通过下图的电子碰撞双原子分子XY为例来进行了解。如果碰撞的能量小,就会产生弹性碰撞,电子动能几乎不变。倘若碰撞的能量高,分子中进行绕核运动的低能电子,就会在碰撞的过程中获得较高的能量,被激发至离核较远的高能级轨道上运动。
等离子清洗设备产生的等离子体特性有哪些?-普乐斯 
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