等离子清洗机的激发频率不同,会有何不同?
文章导读:说到等离子清洗机的激发频率,通常有三种不一样的类型,按激发频率的大小区分分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,也就是我们常说的中频等离子清洗机、射频等离子清洗机和微波等离子清洗机,激发频率不同,主要是由于配置的电源发生频率的差异引起的。那么等离子清洗机的激发频率不同,究竟会有哪些不同呢?
说到等离子清洗机的激发频率,通常有三种不一样的类型,按激发频率的大小区分分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,也就是我们常说的中频等离子清洗机、射频等离子清洗机和微波等离子清洗机,激发频率不同,主要是由于配置的电源发生频率的差异引起的。那么等离子清洗机的激发频率不同,究竟会有哪些不同呢?接下来我们接着来看。

首先谈谈中频等离子清洗机的放电,由于中频电源直接输出到电极板的电压较高,其自偏压较高,产生的负自偏压引起了正离子的功率吸收,这也会直接引起电极板的温度升高;同时由于在这过程中,离子会吸收部分的功率,因此用于电离的电子的功率吸收就与相应的减少了,从而造成等离子体密度的较低和离子的能量较高,工艺处理温度也会稍高。
与中频等离子体清洗机不同的是,射频等离子清洗机在射频容性耦合方式的放电过程中,电极板产生的自偏压受到放电气压的影响,自偏压较小,电子的功率吸收主要来自于与电极板表面的振荡鞘层相互作用。因此,射频等离子清洗设备的激发频率越高,电子的功率吸收也会相对越高,相应的离子轰击的能量就会降低。

而说到微波等离子清洗机放电,这种清洗没有自偏压,离子浓度高,离子能量低,主要有两种方式,即表面波型和电子回旋共振型,前者一般用于商业清洗,是通过辐射微波电磁场直接将气体击穿实现放电,其中并没有离子的加速作用,其电子密度较高,但通常要求放电气压高,从而会引起等离子体局域化比较严重的情况,不利于纵深清洗和多层面的大尺度的清洗处理,此外,微波等离子清洗机也不适合对一些精密的电子元器件进行处理。
普乐斯电子10年专注研制等离子清洗机,等离子体清洗机,等离子清洗设备,常压大气和低压真空型低温等离子表面处理机,已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证,为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗,活化,刻蚀,涂覆的等离子表面处理解决方案,是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问,欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009,普乐斯恭候您的来电!
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