在真空等离子机上常见的气路控制布局和特色之处

来源：普乐斯浏览：次发布日期：2019-07-26 13:30【大中小】

文章导读：控制工艺气体的稳定和持续是真空等离子机保证处理效果的因素之一，普乐斯刚向大家介绍了气路控制的组成，那么真空等离子机常见的气路控制布局是什么样的呢？有什么特色的地方呢？

控制工艺气体的稳定和持续是保证真空等离子机处理效果的因素之一，普乐斯在上篇文章中向大家介绍了气路控制的组成，那么真空等离子机常见的气路控制布局是什么样的呢？以及各气路组成部分有什么特色的地方呢？接下来我们一起学习。
一、真空等离子机常见的气路控制布局
真空等离子机上常见的气路通常包括三大组成部分：两路工艺气体控制、一路破空气体控制和一路压缩空气控制即CDA控制。下图为常见的气路控制布局：

二、真空等离子机各个气路组成部分及特点
①压缩空气操控部分只需气体高压、过滤器及带输出报警压力表整套组件，不需其他组件。因CDA为部分元件的动力气体，只需在气体压力不足时供给报警服务即可。
②破空气体部分是在CDA操控气路基础上增加一支大口径真空电磁阀，在工艺运行完毕后为真空腔体供给破真空气体输入服务。因破真空气体通常为高洁净气体，所以部分破真空气路中没有安装过滤器，如下图所示。

③工艺气体常规上为高洁净气体，过滤器经常也算是选装的组件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、带报警输出报警表、真空电磁阀和质量控制器。工艺气体通常配置两路，也可根据实际要求来配置多路气体。
④在此气路布局下，进气的顺序为：气体先经过滤器输送至调压阀、带报警输出压力表，再依次通过真空电磁阀和质量控制器。

以上就是真空等离子机常见的气路控制布局和各组成部分的特点，如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！

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