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真空等离子清洗机同一种参数的放电颜色差别咋就这么大?

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2022-07-25 13:08【
文章导读:明明是同一种工艺参数,任何条件都没有变,通过真空等离子清洗机的反应腔室观察,放电颜色经常会有所不同。这种情况,你遇到过吗?是不是厂家的产品有问题,会不会影响等离子表面处理的效果?对于这些疑问,我们普乐斯的小伙伴今天和大家来聊聊。
明明是同一种工艺参数,任何条件都没有变,通过真空等离子清洗机的反应腔室观察,放电颜色经常会有所不同。这种情况,你遇到过吗?是不是厂家的产品有问题,会不会影响等离子表面处理的效果?对于这些疑问,我们普乐斯的小伙伴今天和大家来聊聊。
等离子清洗机
真空等离子清洗机放电的原理是,在一个密闭的腔室内,获得一定的真空度,然后通入相关工艺气体,激发能量形成等离子体。影响等离子体放电的参数包括:气体种类、气体比例、气压、气源供给、功率、频率等,其中与等离子体颜色密切相关的是气体、气压和气源。
不同工艺气体电离后每个原子的激发光谱不一样,颜色也是变化的,激励功率、频率不一样,即便同一个物种也会有不同的颜色,比如氩气是可以呈现淡紫色,或蓝色。何况等离子体产生的光不是单一的,而是混在一起的颜色。
1 气体成分对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
不同工艺气体,例如氧气、氩气、氮气、四氟化碳等单一气体,或者是这些气体一种或两种以上的混合气体,不同比例,产生的等离子颜色是不同的。下图是真空等离子清洗机放电状态。
等离子清洗机放电状态
2 气压大小对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
真空等离子清洗机每一次运行前,都会抽真空,假如背底真空不同,反应腔体和管路里面有残余的气体,例如空气,真空度的不稳定,也会影响放电颜色。下图是真空等离子清洗机放电状态。
等离子清洗机放电状态
3 气源对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
真空等离子清洗机的气源纯度,气瓶残余气体成分或多少,是否混入气体气体等,也会影响放电的颜色。以下图3是真空等离子清洗机放电状态。
等离子清洗机放电状态
以上三张图,就是同一种参数在同样一台真空等离子清洗机运行的放电状态,是不是很神奇?不同等离子体颜色,直观反映出不同等离子体的成分,处理产品的效果会有差异。在工业应用中,为保证产品质量的稳定性、一致性,这种情况是要避免的。
解决办法:购买瓶装气体的渠道要正,保证气体的一定纯度;背底真空抽取和测量要有好的配套设施和计量计;腔体焊接质量要有保证,有侧漏环节,对漏率有要求等等。

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