真空等离子清洗设备（CCP式）电极馈入的方式有哪些？
文章导读：CCP 容性耦合等离子体 (capacitively coupled plasma)是目前国内常见的真空等离子清洗设备电极放电形式，有些爱学习的小伙伴想了解一下电极馈入方式，普乐斯的技术人员给大家简单介绍如下，仅供参考：
真空等离子清洗设备CCP容性耦合等离子体放电使用的电极馈入方式常见的有两类：
1、第1类是通过定制的铜棒+聚四氟乙烯绝缘件配合馈入到腔体内，在腔体内铜棒与连接排连接在一起。真空等离子清洗设备电极板上也安装相应的连接件。连接方式可以是插针公母头连接、铜片+弹片配合连接以及连接排与电极板通过铜带利用螺丝锁定连接。下图为常用的插针公母头连接的示意，其他连接只是在腔体内部有区别。
2、另外一类是在真空等离子清洗设备电极板上焊接连接棒，通过定制的绝缘套与焊接的连接棒配合，连接至腔体外；在腔体外再用导电排连接在一起，然后与等离子发生器的输出连接在一起。这一类主要是用于水冷电极结构连接，如是水冷电极结构那么焊接的连接棒为中空结构，这样就可以中通水、连接棒外接射频。具体结构需根客户要求而定。下图为连接示意（仅为示意图，实际结构会有所区别）。
以上关于真空等离子清洗设备电极馈入的方式清楚了吗？您还见过那些电极的馈入方式或者有好的想法，欢迎大家留言与我们交流和分享。
亲，如果您对等离子清洗机感兴趣或者想了解更多详细信息，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
1、第1类是通过定制的铜棒+聚四氟乙烯绝缘件配合馈入到腔体内，在腔体内铜棒与连接排连接在一起。真空等离子清洗设备电极板上也安装相应的连接件。连接方式可以是插针公母头连接、铜片+弹片配合连接以及连接排与电极板通过铜带利用螺丝锁定连接。下图为常用的插针公母头连接的示意，其他连接只是在腔体内部有区别。
 |
 |
| 真空等离子清洗设备电极设计图 | 真空等离子清洗设备电极实物图 |
2、另外一类是在真空等离子清洗设备电极板上焊接连接棒，通过定制的绝缘套与焊接的连接棒配合，连接至腔体外；在腔体外再用导电排连接在一起，然后与等离子发生器的输出连接在一起。这一类主要是用于水冷电极结构连接，如是水冷电极结构那么焊接的连接棒为中空结构，这样就可以中通水、连接棒外接射频。具体结构需根客户要求而定。下图为连接示意（仅为示意图，实际结构会有所区别）。
 |
 |
| 真空等离子清洗设备电极设计图 | 真空等离子清洗设备电极实物图 |
以上关于真空等离子清洗设备电极馈入的方式清楚了吗？您还见过那些电极的馈入方式或者有好的想法，欢迎大家留言与我们交流和分享。
亲，如果您对等离子清洗机感兴趣或者想了解更多详细信息，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
公司外贸网站：www.plasmapls.com
普乐斯推荐
等离子百科
- 导热、填充、催化粉体提质！无机非金属粉体等离子改性工艺与落地效果
- 引线框架封装良率上不去？USC在线干式除尘，搞定微颗粒分层隐患
- 晶圆切割硅尘难清理？USC干式超声波除尘解决封装颗粒短路难题
- 面板良率提上来！USC干式超声波除尘，彻底解决贴合气泡、屏幕亮点不良
- 粉尘异物良率暴跌？USC干式超声波除尘完美解决精密制造除尘难题
- 彻底搞懂：常压等离子和真空等离子根本差异在哪？
- 为什么越来越多工厂把离线等离子换成在线自动化等离子清洗机设备？
- 普乐斯晶圆等离子清洗机介绍
- 量产流水线标配｜普乐斯在线式等离子清洗机分类、结构与全行业应用
- 普乐斯小型桌面式等离子清洗机整机详解
苏公网安备 32058302002178号
