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等离子体气相沉积是一种什么工艺,有什么特点呢? 等离子体气相沉积是一种表面处理工艺,它是应用等离子体进行反应,激活气体,在基体的表面生成固态膜的一种技术,它通过高能量的电场对气体进行电离,形成等离子体,等离子体与工艺气体进行反应形成膜,贴附在基体的表面。这项工艺分为等离子体物理气相沉积和等离子体化学气相沉积,这两者有哪些不同呢?...
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