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2123-12
等离子体接枝工艺介绍（详解等离子体接枝的原理和应用） 等离子体接枝（Plasma Etching）是一种利用等离子体对物体表面进行刻蚀的技术。等离子体是一种由电离气体分子和自由电子组成的物质。等离子体接枝技术具有高精度、高效率、高选择性、低损伤等优点，被广泛应用于半导体集成电路、光电子、生物医药等领域。...
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