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0522-09
晶粒的表面处理工艺，真空等离子清洗机可以做什么？ 晶粒是晶圆切割后的产物，将整块的晶圆按芯片大小分割成单一的芯片（晶粒）；随着现代工艺的进步，对晶粒尺寸要求越来越高，12英寸、8英寸、6英寸等，这对生产要求非常高，而真空等离子清洗机在晶圆生产的表面处理中起非常重要的作用。...
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