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2519-07
低压等离子表面处理设备选用的罗茨泵有何特点？需注意什么？ 罗茨真空泵是一种无内压缩的真空泵，它的压缩比比较低，罗茨真空泵在低压等离子表面处理设备上是无法单独使用的，通常都需要配备一台旋片式真空泵或干式螺杆真空泵作为底泵组，组成油式或干式真空泵组，一般应用在腔体比较大的等离子设备上，那么 低压等离子表面处理设备 选用的罗茨真空泵需要具备哪些特点呢？使用时有哪些需要注意的呢？ 低压等离子表面处理设备...
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