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上海微电子国产28nm工艺光刻机交付在即,普乐斯等离子清洗机 据媒体报道了解,上海微电子披露,其将在2021-2022年交付28nm工艺的国产的沉浸式光刻机,普乐斯等离子清洗机观察。...
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