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真空等离子处理机的三种真空泵组

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2019-07-18 14:13【
文章导读:当真空等离子处理机的腔体较大,为保证抽真空速度,我们会选用真空泵组。常见的有三种泵组组合方式,接下来就为大家逐一介绍。
真空等离子处理机的真空泵组一般分为三种,第一种是旋片式真空泵加上罗茨泵组成的油式泵组;第二种是干式螺杆真空泵加上罗茨泵组合成的干式泵组;第三种是机械泵加上分子泵组成的一款特别的分子泵组。这三种泵组分别有哪些优点?又有哪些选择的注意事项呢?普乐斯为大家逐一来介绍一下。
一、油式泵组
这种泵组是我们真空等离子处理机中zui为常见的一种泵组,它是由旋片式真空泵作为底泵,外加罗茨泵作为次级泵组合而成的泵组。油式泵组一般运用于对洁净度要求不是很高,且腔体较大的真空等离子处理机上。其优点有很多:首先,能够大幅度加大抽速,减少抽真空的时间;其次,结构较为简单,维护方便;还有,性价比较高,具有价格优势。
油式泵组-普乐斯等离子处理机
二、干式泵组
这种泵组是将干式螺杆真空泵作为底泵,罗茨泵作为次级泵组合成的泵组。因为都是由干式真空泵组合而成的,所以不会出现油污染,洁净度相较于油式泵组更高一些。干式泵组一般运用于生物医疗领域、半导体领域以及航天航空领域等洁净度要求较高的行业。
干式泵组作为一款性能优越的泵组,它的优点还真不少:首先,洁净度高,避免了油污染;其次,抽真空速度快,提高了工作效率;然后,工作时性能稳定,声音低;还有,对工作环境的要求低,能应对各种恶劣的工作环境。
干式泵组-普乐斯等离子处理机
三、分子泵组
使用分子泵组能够形成清洁的超高真空环境,所以分子泵组一般是运用在镀膜机、刻蚀机等对真空环境要求高的设备上。分子泵组这么厉害,那它又有哪些优点呢?首先,分子泵组启动快,而且抽速非常快;其次,分子泵组是不使用油的,不会产生油污染;还有,维护简单。
分子泵组-普乐斯等离子处理机
以上就是真空等离子处理机所使用的三种真空泵组的介绍、优点以及适用的工作环境,如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问,欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009,普乐斯恭候您的来电! 

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