2. 等离子体密度：等离子体密度是等离子体中离子和电子的数量，通常以/cm3为单位。
3. 处理室压力：处理室压力是控制等离子体反应的重要参数，通常以帕斯卡（Pa）为单位。
4. 处理室温度：处理室温度也是控制等离子体反应的重要参数，通常以摄氏度（℃）为单位。
5. 气体流量：气体流量是控制等离子体反应的重要参数，通常以标准升每分钟（sccm）为单位。
7. 处理样品的位置和形状：处理样品的位置和形状也是等离子体表面处理的重要参数。
以上就是等离子表面处理设备的关键参数，用户在选择设备的时候需要关注这些参数内容，这样才能更好的使用这些设备，解决自己遇到的表面处理问题。
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