1、氧等离子体清洗机设计小巧,重量轻、占地面积小;
2、适用于实验室及小批量生产的用户;
3、电极板可调,可满足处理不同尺寸产品;
4、常规220V供电(10A插头),方便使用。
        | 机台配置 | 规格描述 | 产地 | 备注 | 
|---|---|---|---|
| 机台整机规格 | 800mm(W)×900mm(D)×1400mm(H) | 普乐斯 | 
					1、工作真空度:20-100Pa 2、真空泵极限压力:4.0×10-1Pa 3、抽真空时间:≤120S 4、破真空时间:20-40S 5、供气方式:电磁阀式 6、流量计调节范围:0-300Sccm(毫升/分钟 7、产能:根据产品规格而定 8、处理时间:工艺不同,处理时间不同 9、操作方式:人工取放工件,一键启动自动控制 | 
| 真空室规格 | 350mm(W)×400mm(D)×300mm(H)进口铝 | 普乐斯 | |
| 电极板规格 | 定制 | ||
| 托架规格 | 定制 | ||
| 等离子发生器功率 | 射频13.56MHZ, 0-500W可调) | 国产 | |
| 真空泵系统 | 机械油式旋片泵组 | 国产 | |
| 真空测定系统 | 皮拉尼式真空计 | 进口 | |
| PLC系统 | 西门子 | 普乐斯自主研发 | |
| 额定功率 | 5KW | ||
| 机台供电 | AC-380V/三相五线式 | 

