真空等离子清洗设备：处理环境为真空环境下，需要密闭的处理室，将内部的空气抽离后在进行处理。
大气等离子清洗设备：处理环境就是正常工作环境，最好为无尘环境进行处理，这样可以避免处理后被灰尘二次污染，造成瑕疵，成为不良品。
气管：接入工艺气体、压缩空气；
喷枪：等离子体由喷枪口射出；
移动平台：设备可以搭配三轴移动平台、机械臂、固定平台等使用；
电源：也叫做等离子发生器，通过它产生等离子体；
控制系统：控制电源功率、电压等等参数；
以及其它配件。
1、第一步：确定气管连接状态；
2、第二步：确认电源连接状态；
3、第三步：确认完成，启动设备；
4、第四步：气体经过电极产生的电场，生成等离子体，最后由喷枪口射出；
5、第五步：喷枪口射出的等离子体对准待处理区域，一扫而过，这样就完成处理了。
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