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等离子体处理指示卡 等离子清洗机处理测试 等离子处理效果测试

产品简介

等离子体处理指示卡是指使用了根据等离子体中的活性种(自由基、离子)变色的功能性色料的评价工具。根据等离子体的强度会产生不同的颜色变化,可以很直观的对等离子体处理效果进行细致的评价。

产品特点

A型主要适用与O₂、N₂、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等离子体的检测,也适用于UV洗净和臭氧洗净。可用于接合线、覆晶线等接合处的表面改性、部分封装后底部填充前的洗净和电镀前表面改质以及LSI、存储器、MEMS、LED等电子设备对装前的洗净。

B型等离子体处理指示卡可用于大气等离子表面处理的检测,分为高敏度和低敏感度两种。主要用于印刷电路板制造、FPD制造和膜加工等大面积处理。

C型变色部分为无机材料,基材为PI材质,背胶可承受200摄氏度高温。具有柔软性,可自由贴附于基板表面或等离子清洗机设备内部。处理后会根据不同气体显示不同的颜色。

D型主要用于检测均匀性,可提高面内均一性检测效率,对面内差和层间差均可轻松检测。

E型晶圆专用(提高良品率,开机前处理),我们正在研发中;

产品参数

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A型等离子体指示卡( O 2/Ar清洗用)
商品名 型号 敏感度 等离子体种类 耐热温度 产品尺寸 包装量 包装形式 有效日期
等离子处理指示卡(O2/Ar清洗用) A1 高敏感 Ar、O、N、Air、CF、H、NH或其他工艺气体 ≦100℃ 本体:20x70mm反应区:∮11mm 50条/包 铝箔袋
密封包装
十二个月
A2 中敏感
A3 低敏感
备注:背附不干胶/可配置二维码/可根据客户需要调整敏感度


注:以上参数仅供参考,本公司可能对相关产品参数进行调整,如有变动,恕不再另行通知。若有不明处,欢迎来电询问。

工作原理

本产品的变色区印刷的色素与各种等离子体反应,根据处理时间、功率、工艺气体种类和气体流量等参数的不同会产生不同程度的颜色变化。

应用领域

接合线、覆晶线等接合处的表面改性

部分封装后底部填充前的清洗

电镀前表面改质

LSI、存储器、MEMS、LED等电子设备对装前的清洗

快速反应,专业配合,精心打造服务生态链
1年质保,终身维护,提供配套服务
承诺到达现场的时限:昆山4小时,苏州8小时,江浙沪24小时,其他区域48小时