等离子体处理指示卡 等离子清洗机处理测试 等离子处理效果测试

A型主要适用与O₂、N₂、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等离子体的检测，也适用于UV洗净和臭氧洗净。可用于接合线、覆晶线等接合处的表面改性、部分封装后底部填充前的洗净和电镀前表面改质以及LSI、存储器、MEMS、LED等电子设备对装前的洗净。

B型等离子体处理指示卡可用于大气等离子表面处理的检测，分为高敏度和低敏感度两种。主要用于印刷电路板制造、FPD制造和膜加工等大面积处理。

C型变色部分为无机材料，基材为PI材质，背胶可承受200摄氏度高温。具有柔软性，可自由贴附于基板表面或等离子清洗机设备内部。处理后会根据不同气体显示不同的颜色。

D型主要用于检测均匀性，可提高面内均一性检测效率，对面内差和层间差均可轻松检测。

E型晶圆专用（提高良品率，开机前处理），我们正在研发中；

本产品的变色区印刷的色素与各种等离子体反应，根据处理时间、功率、工艺气体种类和气体流量等参数的不同会产生不同程度的颜色变化。

接合线、覆晶线等接合处的表面改性

部分封装后底部填充前的清洗

电镀前表面改质

LSI、存储器、MEMS、LED等电子设备对装前的清洗