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【普乐斯】等离子干刻机 干法刻蚀机 JY-36LN

等离子干刻机JY-36LN

产品简介

品牌:普乐斯
名称:等离子干刻机JY-36LN
型号:JY-36LN
功率: 整机峰值功率4KW
用途:用于不同材料的表面处理、进行刻蚀

产品特点

触摸屏操作界面
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控,数据导出(可选)
模块多样化选择,多层托架可选,处理量大

产品参数

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型号 JY-36LN
控制系统 控制方式 全自动控制(自动/手动切换)
    PLC(标配)/PC(可选)
  操作系统 PLS定制
  触摸屏 15寸
整机规格 尺寸 W650×D900×H1650mm
腔体 尺寸 320×280mm
  材质 铝合金(标配)/不锈钢(可选)
电极 尺寸 W390×D317mm
  层数 1-7层,可选
托架 材质 铝合金(标配)/不锈钢(可选)
  层数 1层
真空计 皮拉尼式真空计 1个
流量计 MFC质量流量控制器 2个;Ar、N2、O2(可选)
真空泵 机械油式旋片泵 1套
发生器 中频/射频 40KHz,0~1000W 13.56MHz,0~500W
额定功率 整机峰值功率 4KW
机台供电 三相五线式 AC-380V
选购品 干式泵、气浴电极(打孔)、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件

注:以上参数仅供参考,本公司可能对相关产品参数进行调整,如有变动,恕不再另行通知。若有不明处,欢迎来电询问。

工作原理

暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

应用领域

包装清洗、钝化层蚀刻、聚亚酰胺蚀刻、增强粘接力、生物医学应用、聚合反应、混合物清洗、预结合清洗
快速反应,专业配合,精心打造服务生态链
1年质保,终身维护,提供配套服务
承诺到达现场的时限:昆山4小时,苏州8小时,江浙沪24小时,其他区域48小时