2. 等离子体密度：等离子体密度是等离子体中离子和电子的数量，需要根据清洗对象的特性和清洗要求进行选择，一般取决于等离子体产生的气体类型和流量等参数。
3. 处理室压力：处理室压力是控制等离子体反应的重要参数，也需要根据清洗对象的特性和清洗要求进行选择，通常需要在一定范围内进行调节。
4. 处理室温度：处理室温度也是控制等离子体反应的重要参数，需要根据清洗对象的特性和清洗要求进行选择，一般需要在一定范围内进行调节。
6. 处理时间：处理时间是等离子体表面处理的时间，需要根据清洗对象的特性和清洗要求进行选择，一般需要在一定范围内进行调节。
7. 处理样品的位置和形状：处理样品的位置和形状也是等离子体表面处理的重要参数，需要根据清洗对象的形状和尺寸进行选择。
8. 射频功率：射频功率是产生等离子体所需的射频电源功率，需要根据清洗对象的特性和清洗要求进行选择，一般需要在一定范围内进行调节。
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