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半导体究竟为何需要使用到连续式等离子清洗机?

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2022-08-03 13:28【
文章导读:有那么一种高新技术设备叫做连续式等离子清洗机,它在半导体封装行业可谓是神兵利器,能够为半导体加工提供极大的便捷。虽然这个设备的名字听起来似乎有些拗口,但同时它还有着另外一个名字,就是在线式等离子清洗机,其作用是可以起到在流水线上连续进行等离子处理的作用。
有那么一种高新技术设备叫做连续式等离子清洗机,它在半导体封装行业可谓是神兵利器,能够为半导体加工提供极大的便捷。虽然这个设备的名字听起来似乎有些拗口,但同时它还有着另外一个名字,就是在线式等离子清洗机,其作用是可以起到在流水线上连续进行等离子处理的作用。
续式等离子清洗机
今天我们要说到的就是这个连续式等离子清洗机,看看它为何会应用到半导体行业当中?
连续式等离子清洗机的类型其实很多,主要是以放电形式和上下料自动动作来区分的。按照放电形式,可分为PE模式和RIE模式,这是与功率电极的连接、电极结构和产品放置相关的;按照上下料的方式,有平台交互式、抽屉式和一进一出式。
先就设备本身而言,连续式等离子清洗机它的主要组成部分有:上下料自动装置、真空系统、等离子发生器、气路控制和真空等离子反应腔体。
续式等离子清洗机
它正式开始运转时,其基本流程是:
1.产品传送到真空反应腔体内;
2.真空泵将腔体内的环境抽到接近真空状态;
3.输入反应需要的气体;
4.进行放电,产生等离子;
5.等离子轰击产品表面,完成处理。
当产品的处理完成之后,腔体内会还原到标准的大气压环境。而下料装置会把产品输送到指定位置。
这个流程大约在10到600秒之间不等,这主要取决于不同的工艺和处理的产品等方面。
正是因为半导体行业的高要求,而连续性等离子清洗机又能很好的符合这一要求,才体现出来连续性等离子清洗机在半导体行业的重要性。
续式等离子清洗机
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