氩气（Ar）：常用于表面活化。氩气等离子体中的氩离子具有较高的能量，能够通过物理轰击作用去除材料表面的吸附层、氧化物等，使表面得到活化，提高表面活性。
氮气（N₂）：氮气可用于一些对表面性质有特定要求的处理过程，例如在某些情况下，氮气等离子体可以在不改变材料基本化学性质的前提下，对表面进行清洗和活化，或者用于调整表面的粗糙度和化学组成。
氢气（H₂）：氢气可以与一些金属氧化物发生还原反应，用于去除金属表面的氧化层。此外，氢气等离子体还可用于某些材料的表面改性，改变材料表面的化学结构和性能。
空气：在一些简单的清洗或活化应用中，空气也可以作为工作气体。空气等离子体可以去除表面的灰尘、有机物等污染物，并且成本较低，使用方便。
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