
氩气(Ar):常用于表面活化。氩气等离子体中的氩离子具有较高的能量,能够通过物理轰击作用去除材料表面的吸附层、氧化物等,使表面得到活化,提高表面活性。
氮气(N₂):氮气可用于一些对表面性质有特定要求的处理过程,例如在某些情况下,氮气等离子体可以在不改变材料基本化学性质的前提下,对表面进行清洗和活化,或者用于调整表面的粗糙度和化学组成。
氢气(H₂):氢气可以与一些金属氧化物发生还原反应,用于去除金属表面的氧化层。此外,氢气等离子体还可用于某些材料的表面改性,改变材料表面的化学结构和性能。
空气:在一些简单的清洗或活化应用中,空气也可以作为工作气体。空气等离子体可以去除表面的灰尘、有机物等污染物,并且成本较低,使用方便。
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