
2、不同工艺气体的放电(水平电极、低频40KHz)
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| 氮气N2 | 氢气H2 | 
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| 四氟化碳CF4 | 氧气O2 | 
真空等离子体在低压环境下,激发频率、压力、气体、电极结构等不同,放电的颜色和状态都会有区别。您有什么异议或更好的图片吗?欢迎大家留言与我们交流和分享。
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