
一、普乐斯真空等离子设备可定制内容
腔体尺寸定制小腔体:实验研发、小样品处理
中大腔体:批量生产、大尺寸工件
可定制:方形腔、圆形腔、多层托盘、滚筒式腔体
工艺类型定制
清洗 / 活化 / 除胶 / 去氧化 / 刻蚀
真空 PECVD 薄膜沉积(SiO₂、SiNₓ、a-Si、SnO₂)
手套箱内真空等离子(水氧敏感材料专用)
气体路数定制
1 路、2 路、3 路、4 路气体任意搭配
配 MFC 高精度质量流量控制
支持 O₂、Ar、N₂、H₂、CF₄、SiH₄等工艺气体
控制与自动化定制
手动 / 半自动 / 全自动
PLC + 触摸屏、配方存储、数据导出
对接流水线、机械手、自动化产线
特殊环境定制
无尘车间适配
防爆、防静电、防腐蚀
手套箱集成真空等离子系统
功率与频率定制
40kHz/13.56MHz 射频电源
功率从几十瓦到数千瓦可调

二、哪些客户需要真空等离子设备定制?
工件尺寸特殊,标准机放不下工艺精度要求高(半导体、MEMS、光学)
需要PECVD 沉积薄膜
需要手套箱 + 等离子一体化
产能大,需要批量 / 连续处理
有自动化、数据记录、远程监控需求
科研单位需要多功能实验平台
三、普乐斯真空等离子定制优势
十年行业经验,工艺成熟稳定真正源头厂家,研发 + 生产一体化
免费试样、免费出方案、免费做工艺
全流程一对一工程师对接
支持腔体、功率、气体、自动化全维度定制
售后 24 小时响应,终身技术支持
性价比高,交期稳定

四、可定制的典型设备类型
研发型小型真空等离子清洗机生产型大面积真空等离子设备
半导体 / 晶圆高均匀真空等离子系统
医疗器材生物相容型真空等离子机
光学玻璃超洁净真空等离子处理设备
钙钛矿 / 光伏手套箱真空等离子一体机
真空等离子PECVD 联合系统
普乐斯真空等离子设备定制,腔体可大可小、工艺可清可镀、自动化可接产线,从实验室研发到工业量产,一站式定制解决方案!
亲,如果您对等离子体表面处理机有需求或者想了解更多详细信息,欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009,普乐斯恭候您的来电!

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