一、高真空气动挡板阀(GDQ)
通常真空等离子清洗机在短时间待机状态下会保持真空泵处于运行状态,高真空气动挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流,以实现真空腔体抽真空的启动和关闭。
高真空气动挡板由压缩空气作为动力,稳定可靠,而且维护方便,在真空等离子清洗机中被广泛应用。

电磁真空带充气阀用于真空泵随运行参数启动的真空等离子清洗机,属于电磁阀类。当真空泵运行时电磁真空带充气阀打开,真空泵关闭时阀门线圈断电阀门靠机械力关闭,其主要作用是防止真空泵内油气因真空腔体内负压作用而被倒吸。
电磁真空带充气阀安装简单,但稳定性相对较差,长时间使用,阀门磁力会衰退同时复位弹簧易反应迟缓,目前大多被应用于实验型真空等离子清洗机。

真空等离子清洗机所用的手动高真空角阀通常为定制型,主要用于手动控制真空气路通断、分断测压等。通常会在角阀上焊接一个KF16接头,以便连接真空计。
这种阀门在真空等离子清洗中已经很少被应用,主要应用于部分实验设备及真空管道检漏。
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