真空等离子清洗机工艺气体控制常用的控制阀

真空等离子清洗机的气路控制主要由工艺气体控制和真空气路控制两大部分组成。工艺气体控制部分常用控制阀有真空电磁阀、止逆阀（止回阀）、气动球阀。接下来普乐斯为大家详细介绍一下真空等离子清洗机工艺气体控制常用的控制阀。
一、工艺气体控制常用控制阀
（1）真空电磁阀
真空等离子清洗机需保证真空腔体内工作真空度在设计范围内，那么与真空腔体相连的阀门必须满足高真空密封的要求，所以常规的工艺气体控制都是选用真空电磁阀。因工艺气体都是单路控制，所以选用的真空电磁阀为两位两通式。

（2）气动球阀
气动球阀具有高真空密封、耐腐蚀、口径大等特点，所以当真空等离子清洗需通入特殊单体时会被应用于气路控制中。根据实际使用需求选用两通式或三通式。

（3）止逆阀
止逆阀又称止回阀，在气路控制中主要是防止气体回流，起到保护气路控制部分其他器件和防止相互反应气体汇合的作用。使用时需注意其标注的气流方向。下图为典型的真空电磁阀与止逆阀配合使用图示。

气路控制阀种类繁多，真空等离子清洗机正常运行需要保证其真空度、密封性、防止气体回流，因此选对合适的控制阀十分重要。以上就是真空等离子清洗机在工艺气体控制常用的控制阀介绍，希望对大家有所帮助！

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