真空等离子清洗机品牌厂商选择流量控制器的经验之谈

首先补充一点，常压大气型的等离子处理设备建议选择的是带有流量控制器的专用气源来为设备提供稳定的工作气体，那么低压真空型的等离子处理设备，一般会选择使用质量流量控制器来实现对通入工艺气体的流量控制，低压真空型的等离子处理设备的流量控制范围通常在0~50SCCM、0~500SCCM之间，一些大型的低压真空等离子处理设备也会使用到0~1SLM规格的质量流量控制器。了解了以上信息，那么气体流量控制器如何选择？普乐斯作为真空等离子清洗机品牌厂商，在选择上也有经验可与大家探讨：

通入的工艺气体不同，建议选择相应的气体的专用质量流量控制器，可以有效保障输入气体的稳定和计量，因为根据所使用的工艺气体不同，气体分子的大小也会不同、其化学性质也是不同的，如果使用相同规格的质量流量控制器是会存在流量误差以及安全隐患的。另外，如使用的是常规工艺气体，可以选择一种气体作为标准，只需要保障气体流量的稳定性；需要注意的是，如果使用的是H₂、CF₄等特殊气体或其他易爆易燃具有腐蚀性的工艺气体，那么则一定要使用专用的质量流量控制器设备。

实验型低压真空等离子处理设备的质量流量控制器选择：
实验型设备通常来说对流量控制要求不算严苛，纯手动操作的设备，也会使用到手动浮子流量计。

选择时的其他注意事项：
低压真空等离子处理设备是需要保证真空的反应腔体压力稳定，所以在选用好适合的气体流量控制器后，还应该需注意气管接头的选用。通常会使用到的是快拧接头或卡套接头作为气管接头，来满足工艺气体真空管路的密封性。

此外，当处理的是一些特殊材料时，可能会把液态单体作为放电介质，这时一定要使用手动浮子流量计作为流量控制器；对于腐蚀性单体则需使用防腐型的浮子流量计；对真空环境要求比较严格的，建议使用高密封性的浮子流量计。

如需对液态单体进行流量监控，也可增加气液流量计，但需考虑单体的测量元素、沸点、冷凝点等因素，可视情况进行选择。以上就是真空等离子清洗机品牌厂商在选择流量控制器时总结出的一些经验，普乐斯拥有自主研发团队、多年从业经验，如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！

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