为什么半导体行业的等离子清洗机大多用铝质腔体？

半导体行业用于清洗、刻蚀的等离子清洗机对真空反应腔室的材质选择比较讲究，毕竟处理晶圆、支架等产品对工艺环境的要求很高。普乐斯等离子清洗机选择铝质腔体大致有以下一些原因：

1、铝合金密度低，强度高，超过优质钢，机械加工性能比较好。
2、铝具有优良的导电性、导热性和抗蚀性。
3、材料对化学反应的兼容性比较好，不易产生金属污染、particle等。
4、表面处理方面铝合金较为丰富，包括电泳、喷涂、阳极氧化等。
5、趋肤深度铝是不锈钢的10倍以上，使得电流分布更均匀，腔体不容易发热。

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