微波等离子清洗机采用的2.45GHz频率电源，这种频率有两大优势：
1、离子浓度：这个频率的浓度比射频等离子浓度高，等离子数量远远超多视频电源，这让反应速度更多，反应时间更短；
2、自偏压：等离子自然特性是可以在直接暴露于等离子的基材上生成一种自偏压，这种自偏压要取决于等离子的激励频率.比如频率为2.45GHz的微波一般仅要求5.1 5伏.而在同样的情况下，RF等离子自偏压却要求100伏。
等离子体与材料表面产生的物理反应主要是利用离子作纯物理的撞击，把材料表面的原子或附着材料表面的离子打掉，因而在物理撞击时，离子的能量越高，越容易产生撞击，所以若要以物理反应为主时，就必须控制较低的压力下来进行反应，这样清洗效果较好。
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