实验装置包括一个气体罐，一个电源，一个常压DBD介质阻挡等离子体反应器，一个光谱仪传感器和一个温度传感器，如图1所示：
图1 细金属导线常压DBD介质阻挡等离子体退火系统
连接电源的圆筒形常压DBD介质阻挡等离子体反应器如图2所示：
图2 圆筒形常压DBD介质阻挡等离子体反应器
圆筒形常压DBD介质阻挡等离子体反应器的原理结构如图3所示：
图3 圆筒形常压DBD介质阻挡等离子体反应器的原理结构
薄圆筒形铝电极（外电极）覆盖在电介质上以防止电弧，它是连接到一个电源。细铜线（内电极）通过等离子体反应器驱动，并连接到地面。在退火前，反应器中充满了气体，氦气，氩气或氮气（纯度＞99.9%）。 在退火过程中，将纯化的放电气体连续地送入等离子体反应器中，以辅助等离子体放电。使用数字示波器记录所施加的电压和电流波形，分别用高电压探头，线圈监测。 三个样品的延伸率的测量采用et-100西川，工业所需的延伸率为20%。
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