等离子清洗机中的电离现象和电子运动密切相关，增强电离对等离子清洗机的处理效果也有很大影响，那么有什么方法能够增强电离呢？目前能被证明的方式有两种，一种是通过电子发生弹性碰撞的时间与电场位相适当配合，使电子被持续加速；另一种则是“冲浪”效应。
在使电子加速的机制当中，理想所满足的条件是电子在和氩原子产生弹性碰撞并改变运动方向的瞬间电场转向，电子速度和能量均会得到增长，如果能够满足上述条件，哪怕电场强度很弱，电子也能获得电离能的能量，在此机制中，电场频率的理想范围通常在约几千MHz。
也有学者对上述机制有所延伸，认为从器壁和阴极发射的二次电子被离子鞘加速后进入辉光放电区成为电子的附加来源，属于二次电子倍增现象。如果电场在二次电子放出时进行换向，达到相位一致，能有效增进电离。
冲浪效应是另一种可证的电离增强机制，通常认为在高频交变电场的作用下，电子在等离子清洗机的电极鞘层界面处的“冲浪”现象能有效增强电离，一般表现为等离子清洗机鞘电压和鞘层不断的起伏变化。有计算和论证表明，电子通过鞘层振荡获得能量，“冲浪”的电子会对电离增强起到积极作用。
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