等离子清洗设备产生的等离子体特性有哪些？

等离子清洗设备是能够实现等离子清洗、活化、刻蚀、沉积等目的的一种工艺设备，等离子清洗设备所产生的等离子体有着独特的物理特性和化学特性。本篇与大家介绍等离子清洗设备所产生的等离子体特性。

等离子清洗设备所产生的的等离子体特征主要有以下几点：
1、所产生的等离子体的电子温度高，粒子动能大；
2、具有良好的导电性能。等离子清洗设备产生的等离子体可以看做为带电粒子的聚集态；
3、等离子体的化学性质较为活泼，容易发生化学反应，应用广阔，有机物的去除就是其中一种应用方向；
4、具有发光特性，根据通入气体不同，会呈现不一样的颜色。
等离子体之所以具有以上特性，是因为其内部电子和气体分子间的碰撞。我们可以通过下图的电子碰撞双原子分子XY为例来进行了解。如果碰撞的能量小，就会产生弹性碰撞，电子动能几乎不变。倘若碰撞的能量高，分子中进行绕核运动的低能电子，就会在碰撞的过程中获得较高的能量，被激发至离核较远的高能级轨道上运动。

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