真空等离子清洗机：设备在使用时需要抽真空，将腔体内部气体抽离，达到真空状态，加入工艺气体同时维持真空状态，进行电离生成等离子体，对产品表面进行处理。
微波等离子清洗机：通过微波辐射产生等离子体，利用等离子体的高能粒子和电子来清洗和修饰表面。
低温等离子清洗机：在低温下产生等离子体，避免材料热损伤和氧化，适用于对有机材料和薄膜进行清洗和修饰。
高温等离子清洗机：在高温下产生等离子体，利用等离子体的高能粒子和化学反应活性来清洗和修饰表面。
氧化等离子清洗机：利用等离子体的氧化作用，对表面进行氧化清洗和修饰，适用于金属表面的清洗和氧化。
等离子清洗机根据不同的应用领域和工作原理，可以选择合适的类型进行清洗和表面修饰。
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