需要先了解清洗物体的表面特性和所需的清洗效果，以确定所需的真空度。通常情况下，等离子清洗机的真空度要求在10^-2 Pa以下。因此，在进行破真，需要先排除真空室内的气体，以确保达到所需的真空度。
二、破真空操作步骤
等离子清洗机的破真空操作步骤如下
1. 开启机械泵或涡旋泵，将真空室内的气体排出。
2. 当真空度达到所需的数值时。
3. 打开等离子体发生器，产生等离子体。
4. 根据清洗物体的特性和所需的清洗效果，选择合适的等离子体清洗参数。
5. 将清洗物体置于等离子体的清洗区域内，进行清洗。
在进行等离子清洗机的破真空操作时，需要注意以下事项
1. 在使用机械泵或涡旋泵破真空时，需要注意泵的排气方向和接口的密封性。
2. 在进行等离子清洗时，需要注意清洗物体的特性和所需的清洗效果，以确定清洗参数。
3. 在清洗过程中，需要注意等离子体的产生和分布情况，以保证清洗效果。
4. 在清洗结束后，需要将等离子体发生器关闭，并进行适当的清洁和维护。
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