反应室是等离子清洗机的核心部件之一，它是产生等离子体的场所。选择合适的反应室可以提高清洗效果，常见的反应室有以下几种
1.石英反应室
石英反应室具有高温耐受性、抗腐蚀性和光透明性等优点，在清洗高温材料和光学元件时应用广泛。
2.陶瓷反应室
陶瓷反应室具有高温耐受性、抗腐蚀性和机械强度高等优点，在清洗高温材料和机械元件时应用广泛。
3.金属反应室
金属反应室具有高强度、耐磨损、耐腐蚀等优点，在清洗金属元件时应用广泛。
真空泵是等离子清洗机的重要组成部分，它用于抽取清洗室内的气体，使清洗室内形成真空环境。选择合适的真空泵可以提高清洗效果，常见的真空泵有以下几种
1.机械泵
机械泵具有抽取速度快、可靠性高、成本低廉等优点，在小型等离子清洗机中应用较广泛。机械泵抽取气体时会产生热量，需要进行冷却，操作相对复杂。
2.分子泵
分子泵具有抽取速度快、抽取极限低、无油无污染等优点，在大型等离子清洗机中应用较广泛。分子泵的成本较高，操作也相对复杂。
混合泵是机械泵和分子泵的组合。在小型等离子清洗机中，采用机械泵，而在大型等离子清洗机中，采用分子泵。混合泵可以充分发挥两种泵的优点，提高清洗效果。
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