其次，常压等离子清洗机是通过高温等离子的高活性，将污染物分解成原子或离子，从而达到清洗的目的。不同的是真空等离子清洗机是真空泵将电源中的气体抽走，使得放电室内形成真空状态。在这种环境下，具有高反应活性或高能量的等离子体，会与有机污染物及微颗粒污染物反应、碰撞形成各种挥发性物质，挥发性物质伴随工艺气流由真空泵抽取出去，从而达到被处理对象表面清洁、活化等目的。
在处理效果上，真空等离子清洗机普遍来说是优于常压等离子清洗机的，真空等离子清洗机应有的领域更为广泛，根据不同材料的需求可以选择设置更多的工艺参数以及通入更多不同性质的气体。
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