低压真空等离子清洗机清洗的处理对象必须是干净和干燥的材料，低压真空等离子清洗机产生的等离子体属于非平衡式的冷等离子体，与材料表面发生反应的厚度一般是几十个纳米，如果被处理的材料表面有比较明显的脏污或者是涂层，等离子清洗的效果会大打折扣。一般在等离子清洗前，需要对材料表面做预处理，例如利用超声波清洗去除肉眼能看到的颗粒物。材料经过超声波清洗过后，必须要烘干，才能对其进入等离子清洗。假如材料表面残留水分，会影响抽真空的时间；水分过多，随着真空度的变化，这会严重影响等离子清洗的效果。
等离子清洗对等离子设备和材料都拥有较高的要求，这是等离子清洗机的局限性之一。
除了以上方面，低压真空等离子清洗机清洗材料的时候，还要注意材料的摆放位置和方向，不能有遮挡；处理导电材料的时候，要防止与电极之间的距离太近，以免拉弧；当然对等离子清洗前后相关工艺的了解，也是有必要的。
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