等离子模块核心工作参数
| 参数名称 | 取值范围 | 适配场景 | 关键注意事项 |
| 电源频率与功率 | 频率：40kHz（中频）/13.56MHz（射频）；功率：100~300W | 工业量产（塑料 / 金属）：40kHz+150~250W；精密件（FPC / 医疗器械）：13.56MHz+100~180W | 热敏件（PI/PET）功率≤150W，避免高温损伤 |
| 气体类型与配比 | 单气体：O₂/Ar/N₂；混合气：O₂:Ar=7:3、Ar:H₂=9:1 | 塑料活化：O₂/Ar 混合气；金属去氧化：Ar/H₂混合气；防氧化保护：纯 N₂ | 含氟气体（如 CF₄）仅用于特殊刻蚀，需配套废气处理 |
| 气体流量 | 单气体：20~50sccm；混合气：总流量 30~60sccm | 大面积处理：50sccm；精密件：20~30sccm | 流量过低等离子体密度不足；过高会导致射流分散 |
| 等离子喷头与工件距离 | 5~10mm | 流水线在线处理：8~10mm；静态精细处理：5~8mm | 距离过近易产生电弧；过远等离子体活性衰减 |
| 处理速度 | 0.5~20m/min | 批量活化（汽车保险杠）：5~10m/min；热敏件（FPC）：0.5~2m/min | 避免出现处理盲区 |
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