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真空等离子清洗机的腔体大小和进气方式对均匀性有何影响？

来源：昆山普乐斯　日期：2018-08-11 20:48　

文章导读： 影响真空等离子清洗机均匀性的因素很多，包括腔体大小、进气方式、电极结构、电源频率、气体流量、功率大小等等，今天普乐斯的小伙伴来谈谈腔体大小和进气方式对均匀性的影响，仅供参考：
1、真空等离子清洗机腔体的容积越大，均匀性越难掌控，尤其对电源的选择要慎重。普乐斯可根据客户产品规格和产量进行定制等离子清洗机，自10L以上都可进行个性化的设计。但如等离子发生器只选用13.56MHz的RF电源，那么建议尽量控制在600L以内，腔体越大所需的RF电源功率就越大；尤其是使用3000W及以上功率，则建议使用美国AE、MKS或其他进口的RF电源，成本相对较高，但稳定可靠。如处理的产品对均匀性要求高，建议使用40KHz的中频电源或将真空腔体控制在100L以内。
 
2、普乐斯等离子清洗设备使用前进气后排气的方式，经过测试这种均匀性相对较好。腔体内的进气管通常用铝管，将铝管弯折并焊接成类似方形结构并在铝管上开孔，开孔位置在两层电极板的中间，保证每层处理空间都有独立的进气品。如下图所示：

真空等离子清洗机腔体气管 真空等离子清洗机腔体气管

大腔体设备的进气结构会有所变化，具体结构还要看腔体大小，下图为其中一种结构：

真空等离子清洗机气管

以上关于腔体大小和进气方式对等离子均匀性的影响描述对您有什么启发？您有什么异议或更好的想法，欢迎大家留言与我们交流和分享。
 
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