
A型主要适用与O₂、N₂、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等离子体的检测,也适用于UV洗净和臭氧洗净。可用于接合线、覆晶线等接合处的表面改性、部分封装后底部填充前的洗净和电镀前表面改质以及LSI、存储器、MEMS、LED等电子设备对装前的洗净。

C型变色部分为无机材料,基材为PI材质,背胶可承受200摄氏度高温。具有柔软性,可自由贴附于基板表面或等离子清洗机设备内部。处理后会根据不同气体显示不同的颜色。
D型主要用于检测均匀性,可提高面内均一性检测效率,对面内差和层间差均可轻松检测。
E型晶圆专用(提高良品率,开机前处理),我们正在研发中;

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