等离子体表面处理设备工艺气体控制的控制阀有什么作用？

用于气路控制的控制阀种类繁多，等离子体表面处理设备所常用的气路控制阀，如按操作的方式分，可分为自动控制阀与手动控制阀；按控制的方式分，则可分为电磁阀与气动控制阀；如按工作时的压力分，可分为真空阀和低、中压控制阀等。真空型等离子体表面处理设备上的工艺气体控制阀起到什么样的作用呢？这些选择的小技巧你应该知道。

一、真空电磁阀

真空电磁阀是与等离子体表面处理设备的真空腔体相连，起到保证设备密封性和真空度的作用。在常规的工艺气体控制上，所使用的一般都是真空电磁阀，并且因为工艺气体都是单路控制的，所以在真空电磁阀的选择一般都为两位两通式的真空电磁阀。

二、气动球阀
等离子体表面处理设备的气动球阀口径较大、耐腐蚀性好，且具备高真空密封性的特点，当等离子体表面处理设备需通入特殊的单体时，一般会选择气动球阀。根据使用的实际需求，可选用两通式或三通式的气动球阀。

三、止逆阀
止逆阀也叫止回阀，在气路控制的主要起到的作用是防止气体回流，保护气路控制部分的其他器件以及防止相互反应气体发生汇合。需要提醒大家的是，在止逆阀的使用中还需注意其标注的气流方向。下图是等离子体表面处理设备中较为典型的真空电磁阀和止逆阀搭配使用的情况。

以上就是等离子体表面处理设备工艺气体控制的三种控制阀的各自作用及选择的建议，控制阀在等离子体表面处理设备的工艺气体控制上起到重要作用，如果您想要了解更多关于等离子体表面处理设备的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！

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