2、 关闭所有气体。
3、 准备所需工具箱。
4、真空腔体及真空发生系统的保养
（1）真空腔是处理工件的工作区，当使用到一定时间后腔体内会残留部分污垢，附着在电极板及腔体壁上。
处理方法：当连续使用一定时间后，应用无尘布（纸）沾酒精清洁所有电极板及腔体壁，保持腔体清洁。
（2）观察窗是工作人员在工作时对腔体内放电情况进行观察所用，在使用腐蚀气体后会造成观察窗玻璃的表面微蚀，使其变得模糊不清。
处理方法：用无尘布（纸）沾酒精或丙酮对玻璃进行清洁即可。
上述为等离子清洗机维护保养方法举列，如有问题请致电昆山普乐斯客服部，欢迎您留言与我们交流和分享。
亲，如果您对等离子清洗机感兴趣或者想了解更多详细信息，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
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