1. 等离子源参数：等离子源参数包括等离子体气体种类及流量、微波功率、工作压力等。这些参数直接影响等离子体的密度、温度、电荷密度等等，从而影响表面改性效果。
2. 反应室参数：反应室参数包括反应室尺寸、形状、壁材、内部结构等。这些参数会影响等离子体的流场、电场分布等，从而影响表面改性效果。
3. 处理时间：等离子表面改性的处理时间需要根据不同的材料和要求进行调整。处理时间过短会影响改性效果，处理时间过长则可能造成材料的过度损伤。
5. 处理气体流量：处理气体流量会影响等离子体的浓度和速度，从而影响表面改性效果。
6. 处理气体种类及组合：不同的处理气体种类及组合会影响等离子体的成分和活性，从而影响表面改性效果。
7. 处理温度：处理温度会影响材料表面的化学反应和物理变化，从而影响表面改性效果。
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